專注非接觸式光學3D表面測量儀器
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簡要描述:µsprint全自動晶元檢測系統是專門為半導體產業的bump檢測而設計。Z大能夠自動檢測八寸晶元。bump的高度、直徑、體積、形狀以及平面度都能得到納米級精度的量測。
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μsprint全自動晶元檢測系統是專門為半導體產業的bump檢測而設計。zui大能夠自動檢測八寸晶元。bump的高度、直徑、體積、形狀以及平面度都能得到納米級精度的量測。
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